雅馬拓等離子清洗機V1000產品特點：

■操作性·功能

●射頻13.56Mhz0-1000W高功率機型，DP和RIE標配的雙模等離子清洗儀器，可對應更多復雜工藝.

●標準配備電離式真空計，實時顯示真空度，使得控制更為accurate。

●液晶觸摸屏控制，操作使用簡單，調取數(shù)據(jù)簡單。

■安全性·保護

●標準配備真空泄漏檢測功能，可以根據(jù)需要檢查設備的真空以及泄漏情況。

●裝載有過電流漏電保護、真空泵、RF發(fā)生器，以及電源各部分均標準配備過電流漏電保護裝置。

●發(fā)生器保護回路：超負荷或者RF發(fā)生器發(fā)生問題時，可自動調低頻率來保護發(fā)生器。

●門鎖開關：門在未*關閉時無法啟動電源。

●側板鎖：本體側板突然打開或者未關好時，會停止電源。

●緊急停止按鍵（EMO）標準配備。

●當裝置發(fā)生異常時，裝置本體發(fā)出警告信號的同時，進行以下動作1）關閉主閥。（2）關閉供氣閥。（3）停止輸出振蕩器。(4)停止處理時間。（5）聲光報警

■產品優(yōu)勢

●清洗效果好，清洗效率高，功率大，應用范圍廣。

●DP&RIE雙模處理，可對應更復雜的工藝。

●搭載高精度適配器，高性能RF電源。

●可變電極構造提高等離子處理效果。

●安全保護措施綿密，有效防止對機器以及樣品的損害。

●可根據(jù)需求的具體情況提供產品定制服務。

●硅晶圓的灰化及蝕刻。

●基板表面污垢處理。

●IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理。

●半導體相關部品的電子材料的干式清洗。

●自然氧化膜·有機物去除。

●界面活性處理。

●表面污染物去除

雅馬拓等離子清洗機V1000產品參數(shù)：