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HORIBA/堀場(chǎng)LF-F20M-A液體質(zhì)量流量計(jì)是一款專門測(cè)量微小液體的質(zhì)量流量控制器，LF-F/LV-F系列質(zhì)量流量控制器利用1種液體進(jìn)行了流量校正，(需預(yù)先指定所使用的液體) 。
日本HORIBA/SEC-E40質(zhì)量流量控制器主要用途為制程用的氣體流量控制、根據(jù)重點(diǎn)關(guān)注于重復(fù)性以及限定氣體的種類、流量進(jìn)行大量生產(chǎn)、實(shí)現(xiàn)了大幅度的成本降低。適合于定流量、長(zhǎng)時(shí)間的穩(wěn)定控制重復(fù)控制的場(chǎng)合，同樣適用于研究所的簡(jiǎn)易流量控制。
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