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產(chǎn)品中心HORIBA高溫磷酸/化學(xué)藥液濃度計(jì)
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HORIBA/堀場(chǎng)HF-960M化學(xué)藥液濃度計(jì)，低濃度型HF/HCl/NH3濃度計(jì)采用的傳感器具有出色的耐腐蝕性，可對(duì)低濃度的化學(xué)品進(jìn)行高精度、高速測(cè)量，因此是單槽清洗和晶圓清洗的理想選擇。HF-960M 也是一款環(huán)保產(chǎn)品，使用無(wú)鉛焊料將芯片嵌入印刷電路板。
HORIBA/堀場(chǎng)CS-620F光纖型高溫磷酸濃度計(jì)，在3D NAND 制程中，沉積幾十層二氧化硅和氮化硅，并使用高溫磷酸選擇性地刻蝕氮化硅層。能夠在高達(dá)170℃ 的高溫下進(jìn)行測(cè)量。使用吸收光譜進(jìn)行連續(xù)測(cè)量，與其他方法相比，需要的維護(hù)和耗材更少。
HORIBA/堀場(chǎng)CS-900非接觸式化學(xué)藥液濃度計(jì)，為達(dá)到半導(dǎo)體濕法制程中所需的嚴(yán)格化學(xué)藥液濃度控制，HORIBA通過設(shè)計(jì)緊湊設(shè)備，以及通過其原有傳感器設(shè)計(jì)保持穩(wěn)定測(cè)量和確保操作人員安全，實(shí)現(xiàn)更強(qiáng)大功能以滿足需求。
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