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HORIBA/堀場SLIA-300二氧化硅濃度計，滿足以 0.01µg/L (0.01 ppb) 的較高靈敏度測量超低密度二氧化硅的客戶需求，采用了一種新的“長光路徑長度測量單元“，能夠?qū)Τ兔芏榷趸柽M(jìn)行高靈敏度測量，同時還提供緊湊的桌面型號，以提高實用性。該產(chǎn)品具有自診斷等一系列標(biāo)準(zhǔn)功能以及高速響應(yīng)和高靈敏度等新的性能改進(jìn)，為半導(dǎo)體生產(chǎn)制程中的純水工藝提供了更強(qiáng)的支持。
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